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中科院微電子所在極紫外光刻基板缺陷補(bǔ)償方面取得進(jìn)展
近日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在極紫外光刻基板缺陷補(bǔ)償方面取得進(jìn)展。
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紫外
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09-16
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